日立SU8010电子显微镜

日立超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8010

作为活跃在各尖端研究与分析领域最前沿S-4800-1的新秀机型荣耀登场;
在各种场发射电子枪中,以高倍率观察为目的;
搭载具有非常优秀原理的冷场发射电子枪的SU8010;
为观察纳米尺度微细结构的科研工作者提供了更高性能的仪器。

 SU8010的特点:

■ 低加速电压,高分辨率(二次电子分辨率:1.3nm,着陆电压1.0KV)

■ 减轻荷电影响的 SE/BSE信号可变功能( Super EXB)

■ SU8000系列的通用控制系统GUI和24.1寸宽屏显示器,为客户提供了舒适的操作环境。

■ 可按自己的用途接多种附件以扩充功能。

 

 基本性能优越的冷场发射电子枪:

电子枪前端

 

能量分散小,电子源小的冷场发射电子枪,色差及球差系数性能优越,特别适合于低加速电压高分辨观察。

 

电子枪 冷场FE 肖特基FE
电子源大小

< 5nm

15-30nm
能量范围 < 0.3eV < 1.0eV
寿命

Δ

 

 检测效率高的二次电子检测器:

电子检测器

 

对于黑白扫描电镜图像,获得好的S/N和对比度信息至关重要。依靠EXB技术降低荷电现象、减少漂移现象,即便是少的探针电流也能高效检测二次电子信号,所以依旧可获得非常好的S/N及好的对比度图像。

 

信号可变功能

 

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