日立SU8010电子显微镜
日立超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8010
作为活跃在各尖端研究与分析领域最前沿S-4800-1的新秀机型荣耀登场;
在各种场发射电子枪中,以高倍率观察为目的;
搭载具有非常优秀原理的冷场发射电子枪的SU8010;
为观察纳米尺度微细结构的科研工作者提供了更高性能的仪器。
作为活跃在各尖端研究与分析领域最前沿S-4800-1的新秀机型荣耀登场;
在各种场发射电子枪中,以高倍率观察为目的;
搭载具有非常优秀原理的冷场发射电子枪的SU8010;
为观察纳米尺度微细结构的科研工作者提供了更高性能的仪器。
SU8010的特点:
■ 低加速电压,高分辨率(二次电子分辨率:1.3nm,着陆电压1.0KV)
■ 减轻荷电影响的 SE/BSE信号可变功能( Super EXB)
■ SU8000系列的通用控制系统GUI和24.1寸宽屏显示器,为客户提供了舒适的操作环境。
■ 可按自己的用途接多种附件以扩充功能。
基本性能优越的冷场发射电子枪:
能量分散小,电子源小的冷场发射电子枪,色差及球差系数性能优越,特别适合于低加速电压高分辨观察。
电子枪 | 冷场FE | 肖特基FE |
电子源大小 |
< 5nm |
15-30nm |
能量范围 | < 0.3eV | < 1.0eV |
寿命 |
◎ |
Δ |
检测效率高的二次电子检测器:
对于黑白扫描电镜图像,获得好的S/N和对比度信息至关重要。依靠EXB技术降低荷电现象、减少漂移现象,即便是少的探针电流也能高效检测二次电子信号,所以依旧可获得非常好的S/N及好的对比度图像。